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Product Center當(dāng)前位置:首頁(yè)產(chǎn)品中心萬(wàn)用表&功率計(jì)&測(cè)溫儀5.泰克S530泰克S530參數(shù)化測(cè)試系統(tǒng)
泰克S530參數(shù)化測(cè)試系統(tǒng)S530 參數(shù)化測(cè)試系統(tǒng) 適用于必須操作各種設(shè)備和技術(shù)的生產(chǎn)和實(shí)驗(yàn)室環(huán)境,提供業(yè)界領(lǐng)xian的測(cè)試計(jì)劃靈活性、自動(dòng)化、探頭測(cè)試臺(tái)集成以及測(cè)試數(shù)據(jù)管理功能。Keithley 擁有超過(guò) 30 年的專(zhuān)業(yè)經(jīng)驗(yàn),針對(duì)這些測(cè)試解決方案的設(shè)計(jì)向*的客戶(hù)提供各種標(biāo)準(zhǔn)和自定義參數(shù)化測(cè)試儀。
product
產(chǎn)品分類(lèi)品牌 | 泰克 | 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子 |
泰克S530參數(shù)化測(cè)試系統(tǒng)
泰克S530參數(shù)化測(cè)試系統(tǒng)
吉時(shí)利的S530參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)采用了成熟的源和測(cè)量技術(shù),可滿(mǎn)足工藝控制 監(jiān)測(cè)、工藝可靠性監(jiān)測(cè)以及器件特性分析所需的全部直流和C-V測(cè)量。
主要特點(diǎn):
針對(duì)高混合測(cè)試環(huán)境優(yōu)化設(shè)計(jì)
S530參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)專(zhuān)門(mén)針對(duì)那些必須面對(duì)各種器件和技術(shù)的生產(chǎn)和實(shí)驗(yàn)室 環(huán)境優(yōu)化設(shè)計(jì),具有業(yè)內(nèi)領(lǐng)xian的測(cè)試規(guī)劃靈活性、自動(dòng)測(cè)試功能、探針臺(tái)集成, 以及測(cè)試數(shù)據(jù)管理能力。這些測(cè)試解決方案的設(shè)計(jì)凝聚了吉時(shí)利30多年為 范圍內(nèi)客戶(hù)提供各種各樣的標(biāo)準(zhǔn)和定制參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)的寶貴經(jīng)驗(yàn)。
簡(jiǎn)單的軟件遷移和高度的硬件重用
S530系統(tǒng)的設(shè)計(jì)加速和簡(jiǎn)化了系統(tǒng)啟動(dòng)過(guò)程,并實(shí)現(xiàn)了現(xiàn)有測(cè)試資源的 大重用。例如,控制這些系統(tǒng)的軟件兼容很多新出和遺留的自動(dòng)探針臺(tái),所以 就省去了購(gòu)買(mǎi)新設(shè)備的費(fèi)用。此外,S530的接線引出(cabled-out)配置通常 允許繼續(xù)使用現(xiàn)有的探針卡庫(kù)。多項(xiàng)可選的應(yīng)用服務(wù),能夠幫助用戶(hù)充分利用 現(xiàn)有探針儀和探針卡投資的全部?jī)r(jià)值。吉時(shí)利還可幫助用戶(hù)加快開(kāi)發(fā)新的測(cè)試 配置,或?qū)F(xiàn)有測(cè)試配置轉(zhuǎn)換用于S530系統(tǒng)。
半導(dǎo)體行業(yè)zui強(qiáng)大的標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)
提供兩種不同的系統(tǒng)配置,能夠滿(mǎn)足不同的參數(shù)測(cè)試應(yīng)用環(huán)境。S530小電 流系統(tǒng)可配置2至8路源測(cè)量單元(SMU)通道,具有亞皮安級(jí)測(cè)量分辨率,并 為探針卡提供了全面的小電流保護(hù),使其非常適合于亞微米MOS硅工藝的特性分析。S530高電壓系統(tǒng)可配置3至7路SMU通道,能夠源出高達(dá)1000V的電壓,可用于汽車(chē)電子和功率管理器件所需的各種擊穿和漏流測(cè)試。
全部S530系列系統(tǒng)都配備有吉時(shí)利久經(jīng)考驗(yàn)的大功率SMU,在200V和20V量 程均可提供高達(dá)20W源出或吸入能力,這種功率水平對(duì)于當(dāng)今移動(dòng)設(shè)備中普遍存在 的大功率器件及電路的完整特性分析至關(guān)重要。無(wú)論是測(cè)試LDMOS Si 還是GaN BJT的應(yīng)用,這種大功率能力都提供了對(duì)器件性能的更大可見(jiàn)性。這意味著S530系 統(tǒng)既可應(yīng)對(duì)大功率器件測(cè)試,又不會(huì)影響監(jiān)測(cè)主流器件工藝所需的小電流亞皮安靈 敏度。相比之下,競(jìng)爭(zhēng)參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)卻受限于中等功率的2W SMU儀器,因此不能 與S530系統(tǒng)的應(yīng)用范圍相提并論。
*開(kāi)爾文標(biāo)準(zhǔn)配置
由于接口電纜和通路上電壓降的原因,往往高于幾個(gè)毫安的電流就會(huì)導(dǎo)致測(cè)量 誤差,為預(yù)防這種測(cè)量完整性的下降,小電流和高電壓S530系統(tǒng)在探針卡均提供了 *開(kāi)爾文測(cè)量配置(也稱(chēng)為遠(yuǎn)端電壓檢測(cè))。*開(kāi)爾文測(cè)量對(duì)于確保S530系統(tǒng) 中大功率SMU儀器的20W能力的測(cè)量準(zhǔn)確度尤其重要。
業(yè)內(nèi)zui強(qiáng)大的高電壓參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)
S530高電壓半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)是wei一 能夠在多達(dá)24個(gè)引腳上實(shí)現(xiàn)*開(kāi)爾文高電 壓性能的參數(shù)測(cè)試儀,這種能力對(duì)于當(dāng)今更 高功率器件的特性分析來(lái)說(shuō)是*。系 統(tǒng)采用了可源出1000V@20mA(大20W) 的高電壓SMU。利用兩個(gè)高電壓通路,可進(jìn) 行直接高邊電流測(cè)量(采用單個(gè)SMU源出和 測(cè)量DUT的高邊)或更高靈敏度低邊小電流 測(cè)量(采用一個(gè)SMU源出高電壓至DUT的高 邊,另一個(gè)SMU用于低邊0V并測(cè)量電流)。
系統(tǒng)架構(gòu)
每套S530系統(tǒng)配置由5層組成:
信號(hào)通路
每套S530測(cè)試系統(tǒng)的核心是一組通過(guò)系統(tǒng)開(kāi)關(guān),直接連接儀器和測(cè)試引腳之間 信號(hào)的高保真度信號(hào)通路。S530具有8條高保真度通路,可用于動(dòng)態(tài)連接儀器和引 腳。例如,同時(shí)可將多8個(gè)SMU儀器連接至任意引腳(或多個(gè)引腳)。S530小電 流系統(tǒng)采用開(kāi)關(guān)矩陣,在全部8條通路上提供*的性能。S530高壓系統(tǒng)采用帶特 定通路的開(kāi)關(guān)矩陣,提供高電壓/小漏流測(cè)量,以及C-V測(cè)量。請(qǐng)參閱7174A型和 7072-HV數(shù)據(jù)表獲取有關(guān)信號(hào)通路的更多細(xì)節(jié)。
表2. S530通路性能
通路類(lèi)型 | 關(guān)鍵特性 | 大電壓 | 大電流 | 備注 |
小電流 I-V 1 | 超低漏流 | 200V | 1A | 大受限于200V,提供*低電平信號(hào)性能 和的C-V性能。 |
高電壓 I-V 2 | 1300V | 1300V | 1A | 支持低電平測(cè)量,但沒(méi)有小電流通路低。 |
通用 I-V 2 | 200V | 1A | 適合于大多數(shù)參數(shù)測(cè)試,極低電流和/或高電壓 測(cè)試除外。 | |
C-V 2 | 200V | 1A | 的C-V性能,但不適合于直流I-V測(cè)量。 |
1. 僅限小電流系統(tǒng)。
2. 僅限高電壓系統(tǒng)。
每套S530系統(tǒng)由5層組成:儀器、開(kāi)關(guān)通路、電纜接口、探針卡適配器和探針卡。
成熟的SMU技術(shù)
S530參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)中的全部源測(cè)量單元(SMU)均基于吉時(shí)利的高生產(chǎn)品質(zhì) 儀器技術(shù),確保測(cè)量準(zhǔn)確度和重復(fù)性,并延長(zhǎng)硬件壽命。SMU儀器為四象限源,因 此可源出或吸收電流或電壓。除了精密源出電路外,還包括全部量程的可編程限值 (順從性),有助于防止器件和探針由于器件擊穿而損壞。每款SMU均可在源出的 同時(shí)測(cè)量電壓和電流,確保參數(shù)計(jì)算反映真實(shí)的條件,而不僅僅是編程的條件。
系統(tǒng)測(cè)量選件
對(duì)于更廣泛的測(cè)試結(jié)構(gòu)和測(cè)量,S530可配備若干測(cè)量選件:
接地單元(GNDU)
全部SMU儀器均以接地單元或 GNDU為基準(zhǔn)。測(cè)試期間,GNDU為 SMU儀器源出的電流提供公共基準(zhǔn)和 回路。通過(guò)組合全部Source LO和 Sense LO信號(hào)并使其以系統(tǒng)地為基 準(zhǔn),形成GNDU信號(hào)。系統(tǒng)可方便地 針對(duì)各種接地系統(tǒng)配置進(jìn)行配置,以 適應(yīng)不同的探針臺(tái)接地機(jī)制。
標(biāo)準(zhǔn)9139A探針卡適配器
S530參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)探針卡適配器(PCA)為成熟的9139A。該P(yáng)CA 的多項(xiàng)主要特性和性能優(yōu)勢(shì)使其20多年以來(lái)一直是業(yè)內(nèi)領(lǐng)xian的PCA選擇:
高靈活性接線引出配置
S530系統(tǒng)為“接線引出”(cabled-out)配置,提供了高混合工廠和實(shí)驗(yàn)室 環(huán)境所需的互連靈活性。這些系統(tǒng)可連接至各種不同的探測(cè)解決方案,包括高性 能圓形探針卡、高性?xún)r(jià)比矩形邊緣連接器探針卡,甚至涉及極溫或需要高耐用性 的應(yīng)用中的特殊高性能卡。
表4. S530系統(tǒng)連接選件
連接選件 | 探針卡類(lèi)型 | 特性 | 優(yōu)勢(shì) |
標(biāo)準(zhǔn)吉時(shí)利9139A PCA(S400型) | 圓形陶瓷 | 提高探針引腳的驅(qū)動(dòng)保護(hù) | 的小電流測(cè)量。支持多達(dá)64個(gè) 引腳:可方便針對(duì)其他儀器選件的 輔助輸入進(jìn)行配置 |
定制電纜,連接至現(xiàn)有PCA類(lèi)型 | 通常用于采用邊緣卡連接器的5英寸矩形探針卡 | 兼容現(xiàn)有探針卡庫(kù) | 通過(guò)重用現(xiàn)有探針卡,降低遷移費(fèi)用 |
無(wú)端接電纜 | 無(wú)端接電纜端連接至通路輸出 | 直接連接至現(xiàn)有接口或夾具 | 提供推薦的電纜,優(yōu)化系統(tǒng)性能 |
無(wú)電纜 | 定制探針卡 | 無(wú)需購(gòu)買(mǎi)電纜 | 使用定制探針卡廠家提供的電纜系統(tǒng) |
9139A型探針卡適配器在超過(guò)10年的時(shí)間內(nèi)廣受 業(yè)界信任。其小電流性能和高電壓能力組合使其 成為S530參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)的理想選擇。
替代探針卡適配器(PCA)
提供可用于全部S530配置的可選 探針卡,較簡(jiǎn)單情況下,用于連接至 矩形探針卡(通常指5英寸探針卡)的 邊緣連接器為一個(gè)PCA。這種PCA為 中等信號(hào)電平的應(yīng)用提供了性?xún)r(jià) 比的解決方案。只要愿意,9139A型 PCA可作為選件配置至任意S530系統(tǒng)。 該P(yáng)CA設(shè)計(jì)用于通過(guò)Pogo引腳連接器 將系統(tǒng)連接至圓形探針卡(來(lái)自于經(jīng) 吉時(shí)利認(rèn)可的廠商)。訂購(gòu)時(shí)可 與探針臺(tái)相關(guān)的適配器基板,以確保 9139A型與常見(jiàn)的探針臺(tái)保持兼容。
探針卡
與基于測(cè)試頭的系統(tǒng)不同,S530 系統(tǒng)可方便地適應(yīng)各種各樣的探針卡 類(lèi)型,所以有希望不更換現(xiàn)有(且昂 貴的)探針卡庫(kù)。盡管吉時(shí)利推薦使用9139A型PCA,以及經(jīng)認(rèn)證的探頭卡廠家 產(chǎn)品,但我們也意識(shí)到用戶(hù)已經(jīng)對(duì)現(xiàn)有探針 卡進(jìn)行了大量投入。如果探針卡重用對(duì)于資 產(chǎn)設(shè)備策略至關(guān)重要,請(qǐng)咨詢(xún)應(yīng)用團(tuán)隊(duì),了 解能夠保護(hù)探針卡投資的連接選件。
系統(tǒng)軟件
吉時(shí)利的S530系統(tǒng)依賴(lài)于吉時(shí)利測(cè)試環(huán) 境(KTE)軟件進(jìn)行測(cè)試開(kāi)發(fā)和執(zhí)行。一個(gè) 安裝Linux操作系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)的工業(yè)PC,KTE 整合了吉時(shí)利幾十年的參數(shù)測(cè)試經(jīng)驗(yàn)到其一代的測(cè)試系統(tǒng)。測(cè)量程序和測(cè)試計(jì)劃可 以很容易地編寫(xiě)、轉(zhuǎn)換、或重新使用,幫助 您啟動(dòng)并且使運(yùn)行速度更快。它簡(jiǎn)化了S530 系統(tǒng)與現(xiàn)有測(cè)試系統(tǒng)一起有效地使用。S530 軟件包含所有關(guān)鍵的系統(tǒng)軟件操作:
提高靈活性的用戶(hù)操作點(diǎn)(UAPs)
用戶(hù)操作點(diǎn)或UAP可用于修改測(cè)試序列 中關(guān)鍵事件的工作流程,例如“裝載晶圓”、 “啟動(dòng)測(cè)試”、“結(jié)束提籃”等。它對(duì)于增 加系統(tǒng)能力非常有用,例如使用OCR系統(tǒng)讀 取晶圓提籃RFID標(biāo)簽或讀取晶圓ID。測(cè)試 期間,使能的UAP觸發(fā)腳本或可執(zhí)行程序中 的一個(gè)或多個(gè)自定義操作。
系統(tǒng)診斷和可靠性工具
例行執(zhí)行診斷,確保系統(tǒng)正常工作,不 會(huì)發(fā)生錯(cuò)誤的合格或不合格判定。S530系統(tǒng) 的診斷能力快速、簡(jiǎn)便地驗(yàn)證系統(tǒng)功能性。 診斷進(jìn)程中的關(guān)鍵步驟包括配置驗(yàn)證、通信 通路測(cè)試、信號(hào)通路測(cè)試和SMU源測(cè)量測(cè)試。 診斷過(guò)程甚至包括電纜接口和PCA,以確保 完整系統(tǒng)的功能性,診斷進(jìn)程的設(shè)計(jì)使其能 夠檢測(cè)和定位各種系統(tǒng)故障、速度診斷,將 工作時(shí)間大化。
高電壓儀器保護(hù)模塊
S530高電壓系統(tǒng)包括一個(gè)1kV的 SMU,可能在DUT的一個(gè)端子使用, 同時(shí)施加一個(gè)200V SMU或CVU到另 一個(gè)端子。如果測(cè)試序列或不合格的 DUT在低電壓儀器的輸入上產(chǎn)生太高 的電壓,就可能?chē)?yán)重?fù)p壞儀器。為了 將這種故障風(fēng)險(xiǎn)降至低,吉時(shí)利的 工程師開(kāi)發(fā)了保護(hù)模塊,可防治破壞 性電壓損壞200V SMU儀器和CVU, 而不會(huì)影響其低電平測(cè)量能力。
帶RAID鏡像驅(qū)動(dòng)的工業(yè)PC
即使zui高質(zhì)量的硬盤(pán)驅(qū)動(dòng)也會(huì)發(fā) 生常見(jiàn)故障,所以定期備份系統(tǒng)至關(guān) 重要。S530系統(tǒng)采用了高可靠性工業(yè) 控制器,包括RAID(獨(dú)立磁盤(pán)冗余陣列)選件。隨時(shí)維護(hù)一個(gè)主驅(qū)動(dòng)器鏡 像。當(dāng)發(fā)生驅(qū)動(dòng)故障時(shí),鏡像驅(qū)動(dòng)成 為主驅(qū)動(dòng),并通知用戶(hù)應(yīng)該立即準(zhǔn)備 更換驅(qū)動(dòng)。采用RAID鏡像驅(qū)動(dòng)時(shí),驅(qū) 動(dòng)發(fā)生故障就意味著需要制定維修計(jì) 劃,而不是系統(tǒng)停工。
支持服務(wù)與合約
吉時(shí)利的服務(wù)網(wǎng)絡(luò)和應(yīng)用專(zhuān) 家提供專(zhuān)業(yè)的支持服務(wù),覆蓋從初始 安裝和校準(zhǔn)到維修和測(cè)試規(guī)劃遷移服 務(wù)的各個(gè)環(huán)節(jié)。這些服務(wù)不但使系統(tǒng) 利用率和工作時(shí)間大化,而且降低 總體擁有成本。
1. 盡管系統(tǒng)的大多數(shù)組件在現(xiàn)場(chǎng)校準(zhǔn),仍然有部分組件需要在吉時(shí)利遍布的服務(wù)中心進(jìn)行校準(zhǔn)。
2.在美國(guó)和德國(guó)提供A2LA認(rèn)證校準(zhǔn)。
規(guī)格條件
23°C ±5°C,1 年。
相對(duì)濕度5%至60%,1小時(shí)預(yù)熱。
系統(tǒng)級(jí)規(guī)格在吉時(shí)利探針卡適配器終端。
所有技術(shù)指標(biāo)均基于獨(dú)立儀器1年校準(zhǔn)周期。
除非另加說(shuō)明,均為1PLC(工頻周期)下的測(cè)量技術(shù) 指標(biāo)。
電容規(guī)格是典型的@quiet模式。
I/V源通用技術(shù)指標(biāo)
大輸出功率,每SMU:20W(四象限源出或吸入 操作)。
*性:*分辨率和準(zhǔn)確度由使用的量程決定。
簡(jiǎn)明技術(shù)指標(biāo)
小電流系統(tǒng)
電流量程 | 大電壓 | 測(cè)量 | 源 | ||
電流量程 | 大電壓 | 分辨率 | 準(zhǔn)確度 | 分辨率 | 準(zhǔn)確度 |
1 A | 200V | 10 μA | 0 .03% + 1.5 m A + 1 .3 pA/V | 20 μA | 0.05% + 1.8 mA + 1.3 pA/V |
100 mA | 200V | 1 μA | 0 .02% + 20.0 μ A + 1 .3 pA/V | 2 μA | 0.03% + 30.0 μA + 1.3 pA/V |
10 mA | 200V | 100 μA | 0 .02% + 2 .5 μA + 1.3 p A/V | 200 nA | 0.03% + 6.0 μA + 1.3 pA/V |
1 mA | 200V | 10 nA | 0. 02% + 200.0 nA + 1 .3 pA/V | 20 nA | 0.03% + 300.0 nA + 1.3 pA/V |
100 μA | 200V | 1 nA | 0 .02% + 25.0 nA + 1 .3 pA/V | 2 nA | 0.03% + 60.0 nA + 1.3 pA/V |
10 μA | 200V | 100 nA | 0 .03% + 1.5 nA + 1. 3 pA/V | 200 pA | 0.03% + 5.0 n A + 1.3 pA/V |
1 μA | 200V | 10 pA | 0. 03% + 50 0.6 pA + 1 .3 pA/V | 20 pA | 0.03% + 8 00.6 pA + 1.3 pA/V |
100 nA | 200V | 1 pA | 0.0 6% + 10 0.6 pA + 1 .3 pA/V | 2 pA | 0.06% + 100.6 pA + 1.3 pA/V |
10 nA | 200V | 100 fA | 0 .15% + 3 .6 pA + 1.3 pA /V | 200 fA | 0.15% + 5.6 p A + 1 .3 pA/V |
1 nA | 200V | 10 fA | 0. 15% + 88 0.0 f A + 1 .3 p A/V | 20 fA | 0.15% + 2.6 p A + 1.3 pA/V |
100 pA | 200V | 1 fA | 0.1 5% + 760.0 fA + 1 .3 p A/V |
電流量程 | 大電壓 | 測(cè)量 | 源 | ||
電流量程 | 大電流 | 分辨率 | 準(zhǔn)確度 | 分辨率 | 準(zhǔn)確度 |
200 V | 100 mA | 1 mV | 0.02% + 50 mV | 5 mV | 0.02% + 50 mV |
20 V | 1 A | 100 μV | 0.02% + 5 m V | 500 μV | 0.02 % +5 mV |
2 V | 1 A | 10 μV | 0.02% + 480 μV | 50 μV | 0.02% + 730 μV |
200 mV | 1 A | 1 μV | 0.02% + 355 μV | 5 μV | 0.02% + 50 5 μV |
電容 | 10kHz | 100kHz | 1MHz |
10 pF | 0.50% | 0.50% | 1.00% |
100 pF | 0.50% | 0.50% | 1.00% |
1 nF | 0.50% | 0.50% | 4.00% |
10 nF | 0.50% | 0.50% | 5.00% |
100 nF | 1.00% | 1.00% | 5.00% |
大信號(hào)電平:100mV
直流電壓量程:±30V
高電壓系統(tǒng)1
電流量程 | 大電壓 | 測(cè)量 | 源 | ||
電流量程 | 大電壓 | 分辨率 | 準(zhǔn)確度 | 分辨率 | 準(zhǔn)確度 |
1 A | 200V | 10 μA | 0.03% + 1.5 mA + 0 .94 pA/V | 20 μA | 0.05% + 1.8 mA + 0.94 pA/V |
100 mA | 200V | 1 μA | 0.02% + 20.0 μA + 0.94pA/V | 2 μA | 0.03% + 30.0 μA + 0.94 pA/V |
20 mA | 1100V | 100 μA | 0.04% + 1.2 μ A + 0 .94pA/V | 500 nA | 0.05% + 4.0 μ A + 0.94 pA/V |
10 mA | 200V | 100 μA | 0.02% + 2.5 μA + 0.94 pA/V | 200 nA | 0.03% + 6.0 μA + 0.94 pA/V |
1 mA | 1100V | 10 nA | 0 .03% + 200.0 nA +0.94 pA/V | 50 nA | 0 .03% + 300.0 nA + 0.94 pA/V |
100 μA | 1100V | 1 nA | 0 .03% + 25.0 nA + 0 .94 pA/V | 5 nA | 0.03% + 60.0 nA +0.94 pA/V |
10 μA | 1100V | 100 nA | 0.03% + 1.5 nA + 0. 94 pA/V | 500 pA | 0.03% + 5.0 nA + 0.94 pA/V |
1 μA | 1100V | 10 pA | 0. 03% + 50 4.1 p A + 0.94 pA/V | 50 pA | 0 .04% + 804.1 pA +0.94 pA/V |
10 nA | 200V | 1 fA | 0. 06% + 10 4.1 p A + 0.94 pA/V | 2 fA | 0 .06% + 104.1 pA + 0.94 pA/V |
10 nA | 200V | 100 fA | 0 .15% + 7 .1 pA + 0. 94 pA/V | 200 fA | 0.15% + 9.1 pA + 0 .94 pA/V |
1 nA | 200V | 10 fA | 0.15% +4 .4pA + 0.9 4 pA/V | 20 fA | 0.15% +6.1pA + 0. 94 pA/V |
100 pA | 200V | 1 fA | 0 .15% + 4.3pA + 0. 94 pA/V |
1 規(guī)格采用高性能通路。當(dāng)使用通用通路時(shí):
– 大電壓限制在200V。
– 泄漏增加率3.6pA/V。
– 小量程低精度(100pA通過(guò) 1μA)。
電流量程 | 大電壓 | 測(cè)量 | 源 | ||
電流量程 | 大電流 | 分辨率 | 準(zhǔn)確度 | 分辨率 | 準(zhǔn)確度 |
1000 V | 20 mA | 10 mV | 0.015% + 50. 2 mV | 50 mV | 0.02% + 100.2 mV |
200 V | 1 A | 1 mV | 0.015% + 50.0 mV | 5 mV | 0.02% + 50.1 mV |
20 V | 1 A | 100 μV | 0.015 % +5.0 mV | 500 μV | 0.02% +5.1 mV |
2 V | 1 A | 10 μV | 0.02% +374. 0 μV | 50 μV | 0.02% + 680.0 mV |
20 mV | 1 A | 1 μV | 0.015% + 324 .0 μV | 5 μV | 0.02% + 680.0 mV |
電容 | 10kHz | 100kHz | 1MHz |
10 pF | 0.50% | 0.50% | 3.00% |
100 pF | 0.50% | 0.50% | 2.00% |
1 nF | 0.50% | 0.50% | 7.00% |
10 nF | 0.50% | 0.50% | 5.00% |
100 nF | 1.00% | 1.00% | 5.00% |
使用的C-V通路
大信號(hào)電平:100mV
直流電壓量程:±30V
脈沖產(chǎn)生單元選件
每PGU的通道數(shù):2。
大電壓:±40V。
典型脈沖寬度范圍:100ns 到1s。
典型脈沖周期:50ns 到200ms。
頻率分析選件
典型頻率測(cè)量范圍:10kHz 到 20MHz。
典型幅度測(cè)量范圍:10mVRMS 到 1VRMS。
低電壓數(shù)字萬(wàn)用表選件
7位半的分辨率。
低量程:100mV:10nV分辨率。1V:100nV分辨率。
通用
柜寬及深度:60.2厘米 x 91.2厘米
(23.7英寸 × 35.9英寸)。
標(biāo)稱(chēng)線路電源:100V、115V、220V、240V (50Hz、60Hz)。
功耗:2kW的配電裝置,額定2.4KVA。
推薦工作條件:
溫度: 23 ° ± 5 °C ( 73.4 °F ± 9 °F ) 。
濕度:30 %至60 %相對(duì)濕度,非冷凝,兩個(gè)小時(shí)的預(yù)熱時(shí)間。
請(qǐng)參閱S530行政手冊(cè)獲取更多有關(guān)系統(tǒng)和設(shè)備的詳細(xì)信息。